たった1つのレーザー加工穴から、数十万点の加工深さビッグデータを取得
研究成果 2021/03/29
東京大学大学院理学系研究科の櫻井治之特任研究員（現・物性研究所特任助教）、小西邦昭助教、田丸博晴特任准教授、湯本潤司教授、五神真教授（現・総長）らは、超短パルスレーザーの照射による物質の除去深さの入射光強度依存性について、高精細なイメージング技術を活用し、たった一つのレーザー加工穴から数十万点のデータを一度に求めることができる新たな手法（フルーエンスマップ法）を開発しました。本研究では、レーザーパルスの強度分布が空間的に非一様であることに着目して、自作ビームプロファイラで測定したレーザー光の強度分布と、レーザー顕微鏡で測定した加工穴の深さ分布とを厳密に重ね合わせることにより、場所ごとのレーザー光強度と加工深さの関係を可視化することに成功しました。これによって、これまでの手法では1つの加工穴からは加工穴深さや穴半径などの限られた数点の情報しか得ることができなかったのに対し、本手法ではたった一つの加工穴から数十万点のデータを一度に取得することが可能となりました。本手法によって、機械学習に必要となるデータ取得の効率の劇的な向上や、第一原理計算結果と比較するための信頼性の高いデータの系統的な取得が可能となり、レーザー加工の原理解明と制御可能性の向上に向けて大きな役割を果たすことが期待されます。
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